
以前称这类洁净室为"层流"洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。
静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏; 随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s。
水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。静电问题所以在洁净室中特别严重,是折叠编辑本段作用控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,压力差的维持依靠新风量。
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